真空泵 是指 利用 機械 、物理 、化學 或物理化學 的方法 對被抽容器 進行 抽氣 而獲得 真空 的器件 或設備 。
通俗 來講 ,真空泵 是用各種 方法 在某一 封閉空間 中改善 、產生 和維持 真空 的裝置 。
在泵腔內形成 zd通過 旋轉 產生 體積 的變化 而將氣體 排出 泵外,主要 是在吸氣 過程 中,吸氣 腔體積 增大 ,真空度 降低 ,將容器 內氣體 吸入 泵腔,在排氣 過程 中體積 變小 ,壓強 增大 ,終 通過 油封 將吸入 的氣體 排出 泵外。
按真空泵 的工作原理 ,真空泵 基本上 可以 分為 兩種 類型 ,即氣體 捕集 泵和氣體 傳輸 泵。
特點 (1)在較寬的壓力 范圍 內有較大 的抽速 ;(2)轉子 具有 良好 的幾何 對稱性 ,故振動 小,運轉 平穩(wěn) 。
轉子 間及轉子 和殼體 版間 均有間隙 ,不用 潤滑 ,摩擦 損失 小,可大大降低 驅動 功率 ,從而 可實現 較高轉速 ;(3)泵腔內無需 用油 密封 和潤滑 ,可減少 油蒸氣 對真空系統 的污染 ;(4)泵腔內無壓縮 ,無排氣閥 。
結構 簡單 、緊湊 ,對被抽氣體 中的灰塵 和水蒸汽 不權敏感 ;(5)壓縮 比較 低,對氫氣 抽氣 效果 差;(6)轉子 表面 為形狀 較為 復雜 的曲線 柱面 ,加工 和檢查 比較 困難 。